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特色：

• 配置PID控温程序，2500mm长恒温区 

• 水冷扩散炉体，良好的降温性能，减少环境制冷能耗 

• φ420大口径，适应166-230大尺寸硅片 

• 双石英炉门密封结构，避免金属离子污染 

• 12C大抽速真空泵，配泵前双过滤系统 

• 增加炉尾匀流板设计，提升炉尾方阻均匀性